Принцип работы турбомолекулярного насоса

Турбомолекулярный насос способен создавать и поддерживать экстремально низкое давление. В отличие от механических аналогов, которые полагаются на изменение объема для откачки газа, турбомолекулярне насосы https://tako-line.ru/catalog/vakuumnoe_oborudovanie/vakuymnye_nasosy/turbomolekulyarnye_nasosy/ функционирует по принципу передачи импульса от вращающихся лопастей к молекулам газа. В основе работы лежит ротор, состоящий из нескольких ступеней. Лопасти вращаются с высокой скоростью, достигая десятков тысячи оборотов в минуту.

Когда молекулы газа попадают в камеру насоса, они сталкиваются с вращающимися лопатками. При каждом столкновении молекуле газа передается импульс в направлении откачки, что заставляет её двигаться вниз по каналу насоса. Многократные столкновения с лопатками на последовательных ступенях ротора постепенно снижают хаотичность движения молекул и направляют их к выходному отверстию насоса.

Преимущества турбомолекулярных насосов

• Высокий вакуум: Турбомолекулярные насосы способны создавать чрезвычайно высокий вакуум, вплоть до 10^-10 торр и ниже.
• Чистота: В процессе откачки не используются масла или другие рабочие жидкости, что делает турбомолекулярные насосы идеальным выбором для применений, требующих высокой степени чистоты.
• Высокая скорость откачки: Турбомолекулярные насосы обладают высокой скоростью откачки для широкого спектра газов.
• Низкий уровень шума и вибрации: В отличие от некоторых других типов вакуумных насосов, турбомолекулярные насосы работают очень тихо и с минимальной вибрацией.

Недостатки

• Сложность конструкции: Турбомолекулярные насосы представляют собой сложные механизмы, требующие высокой точности изготовления, что сказывается на их стоимости.
• Чувствительность к механическим повреждениям: Попадание твердых частиц или конденсата в камеру устройства может привести к повреждению лопастей и выходу его из строя.
• Необходимость в предварительном вакууме: Для запуска и эффективной работы требуется предварительный вакуум, который обычно создается с помощью форвакуумного насоса.

Сферы применения

Благодаря своим уникальным характеристикам, турбомолекулярные насосы нашли широкое применение в различных областях науки и техники, где требуется создание и поддержание высокого вакуума:

• Научные исследования: Физика поверхности, масс-спектрометрия, электронная микроскопия, ускорители частиц.
• Производство полупроводников: Нанесение тонких пленок, ионная имплантация, травление.
• Вакуумная металлургия: Плавление и литье металлов, нанесение покрытий.
• Лазерная техника: Создание активных сред для лазеров, откачка газовых лазеров.
• Производство ламп и электронных компонентов: Откачка кинескопов, рентгеновских трубок, ламп накаливания.

Турбомолекулярные насосы являются неотъемлемой частью современного мира высоких технологий, и их значение будет только возрастать по мере развития науки и промышленности.

erid:2VtzqwP6spW